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        HgCdTe光伏器件多層鈍化膜等離子體處理的研究

        關注熱度:11194   來源:新能源學術論文  作者:儲開慧 喬輝 湯英文 陳江峰 胡亞春 賈嘉 李向陽 龔海梅
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        【摘要】:正HgCdTe光伏探測器是重要的一類紅外探測器,在該器件制備工藝中,鈍化技術決定著器件的穩定性、抗干擾能力,和其它性能指標。在各種鈍化技術中,SiO2+ZnS復合介質膜鈍化雖然具有較好的界面特性、絕緣性、熱穩定性和化學穩定性,但由于SiO2薄膜和ZnS薄膜之間的附著力差,使這一鈍化技術的廣泛應用受到限制。本文報道了在HgCdTe光伏探測器件SiO2+ZnS復合介質膜鈍化中,引入O 和Ar等離子體處理工藝,大大提高薄膜附著力,成功制備出優良的光伏器件。
        【作者單位】:中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室 中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室 中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室 中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室 中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室 中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室 中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室 中國科學院上海技術物理研究所傳感技術聯合國家重點實驗室
        【分類號】:TN215
        【正文快照】:
        HgcdTe光伏探測器是重要的一類紅外探測器,在該器件制備工藝中,鈍化技術決定著器件的穩定 性、抗干擾能力,和其它性能指標。在各種鈍化技術中,5102+zns復合介質膜鈍化雖然具有較好的界 面特性、絕緣性、熱穩定性和化學穩定性,但由于Siq薄膜和zns薄膜之間的附著力差,使


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